Nano Step系列台阶仪

.亚埃级位移传感器 

.超微力恒力传感器

.超平扫描平台

NS200    NS300

NS系列台阶仪为超精密接触式微观轮廓测量仪器，主要用于台阶高度、膜层厚度及表面粗糙度等微 观形貌参数的高精度测量。仪器通过2μm半径金刚石针尖在超精密位移平台上扫描样品表面，将测针垂 直位移转化为电信号并生成数字点云数据，再由分析软件提取相关表面质量参数。两款机型均采用线性 可变差动电容传感器，具备超微力调节与亚埃级分辨率。NS300集成了超低噪声信号采集、精密运动控制 与标定算法等核心技术，拥有超高测量精度与重复性，并采用全新机台结构，配置300×300mm大行程平 台，可支持最大12英寸样品的微观形貌测量，适用于大型工件的台阶高度与表面粗糙度检测。

典型应用

产品功能

1.参数测量功能 1）台阶高度：能够测量纳米到330μm或1050μm的台阶高度，可以准确测量蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP 等工艺期间沉积或去除的材料。 2）粗糙度与波纹度：能够测量样品的粗糙度和波纹度，分析软件通过计算扫描出的微观轮廓曲线，可获取粗糙 度与波纹度相关的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等数十项参数。 3）应力测量：可测量多种材料的表面应力。

2.测量模式与分析功能 1）单区域测量模式：完成Focus后根据影像导航图设置扫描起点和扫描长度，即可开始测量。 2）多区域测量模式：完成Focus后，根据影像导航图完成单区域扫描路径设置，可根据横向和纵向距离来阵列形 成若干到数十数百项扫描路径所构成的多区域测量模式，一键即可完成所有扫描路径的自动测量。 3）3D测量模式：完成Focus后根据影像导航图完成单区域扫描路径设置，并可根据所需扫描的区域宽度或扫描 线条的间距与数量完成整个扫描面区域的设置，一键即可自动完成整个扫描面区域的扫描和3D图像重建。 4）SPC统计分析：支持对不同种类被测件进行多种指标参数的分析，针对批量样品的测量数据提供SPC图表以 统计数据的变化趋势。

3.快速换针功能 采用了磁吸式测针，当需要执行换针操作时，可现场快速更换扫描测针，并根据软件中的标定模块进行快速标 定，确保换针后的精度和重复性，减少维护烦恼。

4.双导航光学影像功能 在NS200-D型号中配备了正视或斜视的500W像素的彩色相机，在正视导航影像系统中可精确设置扫描路径， 在斜视导航影像系统中可实时跟进扫描轨迹。

技术参数1

技术参数2